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更新時間:2020-01-06
合肥科晶 TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀
產品概述:
TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀是一款利用反射光譜測試薄膜厚度的儀器,可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度而不損傷樣品表面的薄膜,是一款無損測厚儀,其測量膜厚范圍為15nm-50um,測量膜厚范圍廣,尤其適用于超薄薄膜厚度的測量。儀器所發出測試光的波長范圍為400nm-1100nm,波長范圍廣,因此,測試薄膜厚度的范圍廣。TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀測試系統的理論基礎為鏡面光纖反射探頭,該儀器尺寸小巧可節省實驗室空間,操作方便,讀數直觀,方便于在實驗室中擺放和使用。
測量膜厚范圍:15nm-50um
光譜波長:400 nm - 1100 nm
主要測量透明或半透明薄膜厚度:
合肥科晶 TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀
特點:
精度:0.01nm或0.01%
準確度:0.2%或1nm
穩定性:0.02nm或0.02%
光斑尺寸:標準3mm,可以小至3um
要求樣品大?。?/span>大于1mm
分光儀/檢測器:
光源:
反射探針:
載樣臺:測量時用于放置測量的樣品
通訊接口:USB接口,方便與電腦對接
TFCompanion軟件:
設備尺寸:200x250x100mm
重量:4.5kg